真空加圧装置（真空プレス） | ミカドテクノス株式会社

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真空加圧装置
真空プレス装置　 VACUUM STAR（バキュームスター）

Machine Productsマシンプロダクト事業

真空加圧装置 2Dタイプ

豊富なバリエーション
VACUUM STAR
高温対応
VACUUM NEO
大面積対応
VACUUM ACE

真空プレス装置　 VACUUM STAR（バキュームスター）

ミカド真空加圧装置（真空プレス）の基本形です。
真空下でプレスを行うため、気泡を嫌う用途に最適です。
有効面積、加圧力、加圧方法など様々な仕様が、カスタム対応できます。
さらにミカド独自の加圧方法と推力制御を用い、大面積への均等加圧が可能です。
セミオーダー対応のため、お客様のご要望を反映した装置をご提案させて頂きます。

使用技術

製品の特長

クイック真空

有効面積A4サイズ、真空ハイト15mm仕様で、1kPaまで10秒以下の短時間での真空引きが可能です。
真空ポンプの選定により、さらなる短時間化も可能です。

圧力分布

ミカド独自の加圧板構造により、より均一な圧力分布を確保しています。

圧力制御

ロードセルにて加圧力をモニタし、フィードバック制御しています。プログラム制御も可能です。

オリジナル真空チャンバー

高ハイト用可動式チャンバーなど、豊富なバリエーションを用意しています。

安全作業

安全器や外周カバーを装備するとともに、下加圧板がスライドテーブル仕様のため、オープン状態での作業が可能になり、作業性、安全性が向上します。

特注対応

実験機から生産機まで、お客様のニーズにあった装置を製作します。

製品事例

VS035-0808

正面安全扉仕様
可動式チャンバー

加圧エリア	有効サイズ：80×80㎜最大ワーク高さ：35㎜温度:RT～100℃
推力	1kN～25kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	丸形チャンバー 1kPa到達時間：保証15秒、実績10秒 3分後到達圧力：実績35Pa
安全・作業性 (抜粋)	正面安全扉透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1350×L1070×H2160㎜質量:850kg
その他	電源：AC200V（3相） 15A PLC制御プログラム推力制御プログラム推力制御冷却回路データロギング（PLC)

VS008-1010

推力手動レギュレータ制御
低加圧仕様

加圧エリア	有効サイズ：150×150㎜最大ワーク高さ：15㎜温度:RT～200℃
推力	3.5kN～12kN ※手動レギュレータ制御
真空	丸形チャンバー 1kPa到達時間：保証10秒、実績5秒 1分後到達圧力：実績290Pa
安全・作業性 (抜粋)	光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W860×L700×H2020㎜質量：450kg
その他	電源：AC200V（3相） 20A

VS015-1515

低加圧仕様
高ハイト
可動式チャンバー

加圧エリア	有効サイズ：100×100㎜　※熱板有効：240×240㎜最大ワーク高さ：100㎜温度分布:RT～200℃
推力	0.5kN～15.0kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 50Pa到達時間：保証120秒、実績40秒 6分後到達圧力：実績5.1Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1370×L1330×H2260㎜質量：1500kg
その他	電源：AC200V（3相） 30A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路データロガーガス置換用ポート

VS03-1515

高ハイト仕様

加圧エリア	有効サイズ：150×150㎜最大ワーク高さ：90㎜温度:RT～100℃
推力	5kN～40kN ※フィードバック制御 ※熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証20秒、実績15秒 1分後到達圧力：実績360Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1150×L1350×H2100㎜質量：1ton
その他	電源：AC200V（3相） 20A PLC制御プログラム推力制御

VS02-1515

スライドテーブル無し

加圧エリア	有効サイズ：150×150㎜最大ワーク高さ：15㎜温度:RT～200℃
推力	2.2kN～20kN ※理論制御
真空	丸形チャンバー 1kPa到達時間：保証10秒、実績7秒 1分後到達圧力：実績190Pa
安全・作業性 (抜粋)	光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1250×L900×H2250㎜質量：1ton
	光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン

VS008-1515

低加圧仕様

加圧エリア	有効面積:150×150mm 最大ワーク高さ:15mm 温度:RT～100℃
推力	1.0kN～8.0kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	丸形チャンバー 1kPa到達時間：保証15秒、実績6秒 1分後到達圧力：実績42Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1350×L1200×H2050㎜質量：1.3kg
その他	電源：AC200V（3相） 50A PLC制御プログラム推力制御プログラム温度制御冷却回路ピラニ真空計

VS30-1515

正面安全扉仕様

加圧エリア	有効サイズ：150×150㎜最大ワーク高さ：25㎜温度分布:RT～100℃
推力	2.5kN～300kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	丸形チャンバー 1kPa到達時間：保証15秒、実績6秒 1分後到達圧力：実績42Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全装置正面扉透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1350×L1200×H2330㎜質量：1950kg
その他	電源：AC200V（3相） 30A PLC制御プログラム推力制御

VS01-φ200

正面安全扉
低加圧仕様

加圧エリア	有効サイズ：φ200㎜最大ワーク高さ：50㎜温度：RT～180℃
推力	1.7kN～12.0kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	丸形チャンバー 1kPa到達時間：保証40秒、実績10秒 3分後到達圧力：実績40Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル正面安全扉透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1370×L1360×H2100㎜質量：1500kg
その他	電源：AC200V（3相） 40A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路

VS05-2020

正面安全扉仕様

加圧エリア	有効サイズ：200×200㎜加圧時平行度：10μm 最大ワーク高さ：15㎜温度：RT～250℃
推力	1kN～50kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	丸チャンバー 1kPa到達時間：保証15秒、実績8秒 1分後到達圧力：保証なし、実績110Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル正面安全扉透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1300×L1450×H2200㎜質量：1.4ton
その他	電源：AC200V（3相） 50A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路

VS38-2020

角型チャンバー

加圧エリア	有効サイズ：200×200㎜最大ワーク高さ：15㎜温度:RT～200℃
推力	2.5kN～380kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証15秒、実績5秒 1分後到達圧力：実績140Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1350×L1200×H2200㎜質量：1.7ton
その他	電源：AC200V（3相） 40A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路

VS10-2525

高ハイト仕様

加圧エリア	有効サイズ：200×200㎜最大ワーク高さ：60㎜温度:RT～100℃
推力	2.0kN～8.0kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証20秒、実績10秒 3分後到達圧力：実績20Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W14320×L1450×H2320㎜質量：1700kg
その他	電源：AC200V（3相） 40A PLC制御プログラム推力制御

VS015-1515

ベローズチャンバー
高ハイト仕様

加圧エリア	有効サイズ：100×100㎜最大ワーク高さ：100㎜温度:RT～200℃
推力	0.5kN～15.0kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	丸形チャンバー 1kPa到達時間：保証120秒、実績41秒 6分後到達圧力：実績6.0Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1370×L1330×H2260㎜質量：1500kg
その他	電源：AC200V（3相） 30A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路

VS15-2525

可動式チャンバー
高ハイト仕様

加圧エリア	有効サイズ：250×250㎜最大ワーク高さ：55㎜温度:RT～200℃
推力	2.5kN～150.0kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	丸形チャンバー 1kPa到達時間：保証20秒、実績18秒 1分後到達圧力：実績140Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1470×L1510×H2480㎜質量：2260kg
その他	電源：AC200V（3相） 40A PLC制御プログラム推力制御データロギング（PLC)

VS30-φ300

製品密着対策ブロー

加圧エリア	有効サイズ：fφ300㎜最大ワーク高さ：20㎜温度：RT～100℃
推力	2.5kN～300,0kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証60秒、実績24秒 3分後到達圧力：実績160Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル正面安全扉透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1350×L1400×H2300㎜質量：2.3ton
その他	電源：AC200V（3相） 40A PLC制御プログラム推力制御上熱板エアブローウエハー昇降機構データロギング（PLC)

VS03-3030

ヒータ無し仕様

加圧エリア	有効サイズ：300×300㎜最大ワーク高さ：30㎜
推力	2kN～30kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角型チャンバー 300Pa到達時間：保証30秒、実績13秒 1分後到達圧力：実績46Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル正面安全扉光線式安全装置透明外周カバー非常停止ボタン
外形寸法	W1200×L1350×H2050㎜質量：1.4ton
その他	電源：AC200V（3相） 20A PLC制御プログラム推力制御

VS30-3030

ロールtoロール
インライン仕様

加圧エリア	有効サイズ：300×300㎜最大ワーク高さ：20㎜温度：RT～100℃
推力	10kN～380kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角型チャンバー（ロールtoロール仕様） 1kPa到達時間：保証20秒、実績19秒 1分後到達圧力：実績330Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル正面安全扉光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1400×L1800×H2500㎜質量：2.4ton
その他	電源：AC200V（3相） 75A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路制御盤背面取り付け

VS02-3535

オートクレーブ
インライン仕様

加圧エリア	有効サイズ：350×350㎜最大ワーク高さ：38㎜温度：RT～100℃
推力	2kN～20kN 陽圧：0～0.7MPa ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角型チャンバー 300Pa到達時間：保証30秒、実績21秒 1分後到達圧力：実績88Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル正面安全扉光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1400×L1800×H2500㎜質量：2.4ton
その他	電源：AC200V（3相） 30A PLC制御プログラム推力制御

VS15-4230

高ハイト仕様

加圧エリア	有効サイズ：420×300㎜最大ワーク高さ：150㎜温度：RT～100℃
推力	3kN～150kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証30秒、実績23秒 1分後到達圧力：実績180Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1500×L1500×H2550㎜質量：2.6ton
その他	電源：AC200V（3相） 30A PLC制御プログラム推力制御

VS50-4535

角型チャンバー

加圧エリア	有効サイズ：450×350㎜最大ワーク高さ：15㎜温度：RT～200℃
推力	40kN～550kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証15秒、実績9秒 1分後到達圧力：実績260Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1600×L1600×H2650㎜　質量：4.3ton
その他	電源：AC200V（3相） 100A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路

VS30-3030

250℃対応
可動式チャンバー
高ハイト仕様

加圧エリア	有効サイズ：300×300㎜最大ワーク高さ：150㎜温度：RT～250℃
推力	2.5kN～380kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証15秒、実績9秒 1分後到達圧力：実績260Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル正面安全扉透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1600×L1600×H2650㎜質量：4.3ton
その他	電源：AC200V（3相） 100A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路

VS30-3030

250℃対応
角型チャンバー

加圧エリア	有効サイズ：300×300㎜最大ワーク高さ：15㎜温度：RT～250℃
推力	2.5kN～300kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証15秒、実績6秒 1分後到達圧力：実績16Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1450×L15500×H2490㎜質量：2500kg
その他	電源：AC200V（3相） 75A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路カレンダータイマ

VS05-3924

高ハイト仕様

加圧エリア	有効サイズ：390×240㎜最大ワーク高さ：150㎜温度：RT～200℃
推力	5.0kN～50.0kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証35秒、実績24秒 3分後到達圧力：実績16Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1450×L15500×H2490㎜質量：2500kg
その他	電源：AC200V（3相） 75A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御冷却回路データロギング（PLC)

VS90-4040

指定色塗装対応
高推力仕様

加圧エリア	有効サイズ：400×400㎜最大ワーク高さ：25㎜温度：RT～100℃
推力	10～30kN、100kN～900kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証30秒、実績10秒 1分後到達圧力：実績46Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1670×L1760×H2730㎜質量：5500kg
その他	電源：AC200V（3相） 60A PLC制御プログラム温度制御プログラム推力制御

VS20-4545

ヒータ無し
貼付緩和処理仕様

加圧エリア	有効サイズ：450×450㎜最大ワーク高さ：50㎜
推力	20kN～200kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 300Pa到達時間：保証30秒、実績15秒 3分後到達圧力：実績17Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル正面安全扉透明外周カバー非常停止ボタン
外形寸法	W1480×L1700×H2490㎜質量：3.23ton
その他	電源：AC200V（3相） 30A PLC制御プログラム推力制御メカニカルブースタポンプピラニ真空計治具プレートブラスト処理

VS05-5254

UVスライド照射
ヒータ無し仕様

加圧エリア	有効サイズ：500×500㎜最大ワーク高さ：30㎜
推力	5kN～50kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 100kPa到達時間：保証120秒、実績8秒 3分後到達圧力：実績13Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル正面安全扉 UVカット透明外周カバー非常停止ボタン
外形寸法	W1830×L2000×H2620㎜質量：4920kg
その他	電源：AC200V（3相） 50A PLC制御プログラム推力制御データロギング（PLC)

VS50-6050

バネ式角型チャンバー

加圧エリア	有効サイズ：630×530㎜最大ワーク高さ：15㎜
推力	80kN～500kN ※フィードバック制御 ※真空差圧及び熱板自重キャンセル付き
真空	角形チャンバー 1kPa到達時間：保証15秒、実績9秒 1分後到達圧力：実績95Pa
安全・作業性 (抜粋)	スライドテーブル光線式安全装置透明外周カバー過昇温防止装置非常停止ボタン
外形寸法	W1400×L2300×H2800㎜　質量：6.2ton
その他	電源：AC200V（3相） 100A PLC制御プログラム推力制御イオナイザー在荷センサ

400℃真空加圧装置 VACUUM NEO（バキュームネオ）

200℃対応の VACUUM STAR へ熱板と真空チャンバーの構造に改良を加えた最大400℃対応の真空熱加圧装置です。